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英福康四大“追光利器”登場!從氦檢到質譜,助您攻克光伏量產難題

更新時間:2026-05-28      點擊次數:62

英福康四大“追光利器"登場!從氦檢到質譜,助您攻克光伏量產難題

SNEC 2026

第十九屆 (2026) 國際太陽能光伏

與智慧能源(上海)大會暨展覽會

英福康四大“追光利器
時間:2026年6月3-5日
英福康四大“追光利器
地址:上海國家會展中心
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氦氣檢漏:

又快又準,漏點無處藏

太陽能電池技術飛速發展,但設備泄漏成為重大挑戰。以PECVD為例,泄漏會導致反應腔氣體成分和壓力失控,在HJT電池制造中會造成非晶硅鈍化層生長不均,導致開路電壓和填充因子下降,光電轉換效率大幅降低。


UL6000 Fab 移動式氦氣檢漏儀

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專為大型工藝工具設計,搭載英福康du you的 I·CAL 和 HYDRO·S 軟件算法。緊湊機身可靈活穿梭于復雜產線,在所有測量范圍內都能實現行業ling xian的響應速度,讓泄漏檢測既準確又高效。


SMART-Spray 無線氦氣噴槍


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che di告別軟管束縛和手動流量調節。無線自由,操作靈活,即使在狹窄的潔凈室空間內也能精準定位漏點。兼容全系列 UL 檢漏儀,是 UL6000 Fab 的最佳搭檔。


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薄膜沉積控制:

鈣鈦礦共沉積的“精算師"

鈣鈦礦太陽能電池的大規模制造,極度依賴納米級超薄膜層和共沉積技術。


Cygnus® 2 薄膜沉積控制器應運而生:


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可同時控制多達六個材料源,滿足復雜共沉積工藝需求;


Auto-Z™ 功能實時計算未知材料的 Z 比值,無需再依賴猜測;


在超低沉積速率下仍能提供穩定、實時的數據反饋;


支持從實驗室順利過渡到量產設備,保障產品一致性。



真空計系列:

全量程覆蓋,精準掌控每一道壓力

從大氣壓到超高真空,英福康真空計為光伏制造全流程提供可靠數據支撐


CDG020D

電容式壓力計


氧化鋁陶瓷傳感器,結構緊湊,不受氣體類型影響

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CDG025D

電容式壓力計

防腐蝕陶瓷傳感器,零點穩定性出色,可承受數百萬次壓力循環;

PSG500

皮拉尼真空計


數字 Pirani 技術,不銹鋼傳感器堅固耐用;

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BAG552 

熱電離真空計

Bayard-Alpert 測量系統,雙燈絲設計,精度、重復性與壽命俱佳

無論您的工藝是 PECVD、PVD 還是蒸發鍍膜,都能在這里找到適合的那一款真空計。



殘余氣體分析儀

ppm 級監測,為真空腔體筑牢防線

在高效電池的制造過程中,腔體內微量的污染氣體或空氣泄漏,都可能引發批次性良率下降,甚至導致整爐產品報廢。及時發現并控制這些“隱形威脅",是保障工藝穩定性的關鍵。


Transpector XPR 3+ 殘余氣體分析儀:可在 20 mTorr 高壓環境下直接工作,70eV 電子轟擊電離生成獨特的質譜峰分布。空氣漏點、氣體純度、碳氫化合物污染——實時捕捉,快速響應。

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Transpector® MPH 支持多氣體并行監測,廣泛用于真空工藝、薄膜沉積等場景,穩穩守護工藝穩定與質量控制。

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從 PECVD 到 PVD,RGA 技術正以 ppm 級精度構建全鏈條質量保障體系。





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