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SNEC 2026
第十九屆 (2026) 國際太陽能光伏
與智慧能源(上海)大會暨展覽會






氦氣檢漏:
又快又準,漏點無處藏
太陽能電池技術飛速發展,但設備泄漏成為重大挑戰。以PECVD為例,泄漏會導致反應腔氣體成分和壓力失控,在HJT電池制造中會造成非晶硅鈍化層生長不均,導致開路電壓和填充因子下降,光電轉換效率大幅降低。
UL6000 Fab 移動式氦氣檢漏儀

專為大型工藝工具設計,搭載英福康du you的 I·CAL 和 HYDRO·S 軟件算法。緊湊機身可靈活穿梭于復雜產線,在所有測量范圍內都能實現行業ling xian的響應速度,讓泄漏檢測既準確又高效。
SMART-Spray 無線氦氣噴槍

che di告別軟管束縛和手動流量調節。無線自由,操作靈活,即使在狹窄的潔凈室空間內也能精準定位漏點。兼容全系列 UL 檢漏儀,是 UL6000 Fab 的最佳搭檔。

薄膜沉積控制:
鈣鈦礦共沉積的“精算師"
鈣鈦礦太陽能電池的大規模制造,極度依賴納米級超薄膜層和共沉積技術。
Cygnus® 2 薄膜沉積控制器應運而生:

可同時控制多達六個材料源,滿足復雜共沉積工藝需求;
Auto-Z™ 功能實時計算未知材料的 Z 比值,無需再依賴猜測;
在超低沉積速率下仍能提供穩定、實時的數據反饋;
支持從實驗室順利過渡到量產設備,保障產品一致性。
真空計系列:
全量程覆蓋,精準掌控每一道壓力
從大氣壓到超高真空,英福康真空計為光伏制造全流程提供可靠數據支撐。
CDG020D
電容式壓力計
氧化鋁陶瓷傳感器,結構緊湊,不受氣體類型影響;


CDG025D
電容式壓力計
防腐蝕陶瓷傳感器,零點穩定性出色,可承受數百萬次壓力循環;
PSG500
皮拉尼真空計
數字 Pirani 技術,不銹鋼傳感器堅固耐用;


BAG552
熱電離真空計
Bayard-Alpert 測量系統,雙燈絲設計,精度、重復性與壽命俱佳。
無論您的工藝是 PECVD、PVD 還是蒸發鍍膜,都能在這里找到適合的那一款真空計。
殘余氣體分析儀:
ppm 級監測,為真空腔體筑牢防線
在高效電池的制造過程中,腔體內微量的污染氣體或空氣泄漏,都可能引發批次性良率下降,甚至導致整爐產品報廢。及時發現并控制這些“隱形威脅",是保障工藝穩定性的關鍵。
Transpector XPR 3+ 殘余氣體分析儀:可在 20 mTorr 高壓環境下直接工作,70eV 電子轟擊電離生成獨特的質譜峰分布。空氣漏點、氣體純度、碳氫化合物污染——實時捕捉,快速響應。

Transpector® MPH 則支持多氣體并行監測,廣泛用于真空工藝、薄膜沉積等場景,穩穩守護工藝穩定與質量控制。

從 PECVD 到 PVD,RGA 技術正以 ppm 級精度構建全鏈條質量保障體系。
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